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Aide à la surveillance des boucles de régulation dans un système interconnecté :
Application aux processus de fabrication des semi-conducteurs.
Tuteur académique : Mustapha OULADSINE ([email protected]) Guillaume GRATON ([email protected]) Mots-clés : Surveillance, régulation, optimisation, performance, industrie Enjeux/Contexte :
Les problématiques liées aux chaînes de production dans le milieu des semi-conducteurs sont complexes et multiples. D’un côté, elles sont axées sur des défis technologiques afin de proposer des produits répondant à de nouvelles demandes technologiques spécifiques. D’un autre côté, dans le but de répondre à ces défis de plus en plus pointus, la chaîne de production doit s’adapter et rester performante avec un rendement élevé de production tout en assurant une bonne qualité du produit final. Il est important alors de mettre en place des outils permettant de suivre la qualité, de prévenir toute dérive et que ces informations soient prises en considération lors du contrôle commande. Des travaux ont été réalisés au sens du LSIS permettant la génération d’indicateurs de qualité, néanmoins cette problématique reste encore ouverte. De nombreux travaux sont encore en cours afin d’affiner ces indicateurs.
Le but de cette alternance est de s’attaquer à ces défis liés en particulier aux boucles de régulation. Ces défis sont nombreux, la boucle de régulation doit en effet prendre en considération l’évolution de la qualité et être réajustée en conséquence. La boucle de régulation doit aussi être capable de prendre en considération les informations estimées. A ce stade, il est important de s’assurer de la stabilité du système complet en boucle fermée et de s’assurer que les performances obtenues soient optimales.
Malgré des travaux récents concernant l’ajustement de manière optimale des paramètres des correcteurs pour un équipement, des verrous scientifiques majeurs persistent quant à l’optimisation complète des boucles de régulations sur un ensemble de plusieurs équipements en intégrant les interactions des boucles de régulation et des équipements entre eux. Les travaux menés pendant l’alternance devront prendre en considération les caractéristiques inhérentes aux chaînes de production de STMicroelectronics de Rousset.
Descriptif complet de l’offre : https://wiki.centrale-marseille.fr/alternance/wiki:altr
Fig 1 : Répartition de wafers Fig2 : Paramètres dynamiques du contrôleur
obtenus par optimisation
1 2 1 3 4 2 1 13
δ1 δ2 δ1 δ3 δ4 δ2 δ3 δ1 δ1
1 4 0
