Caroline BOISARDResponsable de projet

CNRS20 mars 2014

24/03/2014 The French micro and nanofabrication network for innovation

RENATECH network

Sommaire24/03/2014

Le programme RTB• Histoire et missions• Ecosystème ‘’Nano’’

RENATECH• Localisations• Organisation• Budget et coûts• Domaines de recherche et équipements• Projets exogènes et chiffres clés

L’offre de RENATECH• Services• Approche spécifique• Utilisateurs

Accès au réseau

• Site web• Contact

Actions Renatech

1 nm = 10-6 mm

Nanomètre

Même ratio entre la terre et une orange qu’entre une orange et un nano objet

24/03/2014

•Qu’est ce qu’une salle blanche ?

Définition: Salle blanche

Une pièce ou une série de pièces où la concentration particulaire est maîtrisée afin de minimiser l'introduction, la génération, la rétention de particules à l'intérieur, généralement dans un but spécifique industriel ou de recherche scientifique. Les paramètres tels que la température, l'humidité et la pression relative sont également maintenus à un niveau précis

définition selon la norme ISO 14644-1

•Comment ? L’air entrant est filtré

24/03/2014

Une salle blanche24/03/2014

Au dessus 24/03/2014

Sommaire24/03/2014

Le programme RTB• Histoire et missions• Ecosystème ‘’Nano’’

RENATECH• Localisations• Organisation• Budget et coûts• Domaines de recherche et équipements• Projets exogènes et chiffres clés

L’offre de RENATECH• Services• Approche spécifique• Utilisateurs

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Historique : le programme RTB

2003: Lancement du programme national RTB “Recherche en technologies de Base” ”Doter la France d’une infrastructure capable de répondre de façon

performante et au meilleur coût possible aux besoins de recherche de l’innovation en micro et nanotechnologies” porté par le CNRS et le CEA

CNRS: 6 centrales réparties sur toute la France GIS RENATECH Infracstructure académiques de taille moyenne (900 1500 m² de salle

blanches)

CEA: 1 centre (Leti) ) à Grenoble Très grande infrastructure (wafer de 200 à 300 mm) dédiée à l’innovation et

au transfert vers l’industrie

24/03/2014

Promouvoir une recherche au meilleur niveau mondial dans le domaine des nanosciences

Rationaliser le parc technologique en France

Fournir un service de fabrication pour les utilisateurs scientifiques qu’ils soient académiques ou industriels

Elaborer une stratégie nationale d’achat d’équipements lourds

Promouvoir les nanos sciences en France

Missions 24/03/2014

Evaluation annuelle auprès d’un panel international

OMNT – Observatoire de la micro et nanotechnologie Veille scientifique Analyse de l’état de l’art

Cnano (Structuration nationale & régionale)

Animation scientifique Dissémination de l’information Formation

7000 chercheurs+ 250 laboratoires

Centrales de proximité 9 plateformes 3.000 m² de salle blanche

Program RTB 7 centrales ( CNRS-RENATECH ; CEA LETI) 15.000 m² de salle blanche (7.000 CNRS-8.000 CEA) pour la micro&nano fabrication et la nano charactérisation

Ouvert aux académiques et industriels, nationaux et inernationaux

L’  « écosystème » de la recherche en micro&nano24/03/2014

Chaine de développement

Disruptive Concepts

NewProducts

Proprietary

Open

Academia

IP Integration Lab

Volume Manufacturing

Industrial R&D

Leti

Technology Transfer

Product Development

RENATECH

24/03/2014

Sommaire24/03/2014

Le programme RTB• Histoire et missions• Ecosystème ‘’Nano’’

RENATECH•Localisations•Organisation•Budget et coûts•Domaines de recherche et équipements•Projets exogènes et chiffres clés

L’offre de RENATECH• Services• Approche spécifique• Utilisateurs

Accès au réseau

• Site web• Contact

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RENATECH: infrastructure pour la micro- nano fabrication et charactérisation

140ingénieur & techniciens

7000m² de salles

blanches

6Plateformes

1000utilisateurs

par an

• Porté par le CNRS :Laurent Nicolas (DAS)Isabelle SAGNES (CM)Caroline BOISARD (CP)

• Piloté par :• INSIS/INP• Universités tutelles des 6 laboratoires

• Président du GIS : Michel de Labachelerie

GIS RENATECH24/03/2014

20042005200620072008200920102011201220132014 -

2,000

4,000

6,000

8,000

10,000

12,000 Budget RENATECH

Am

ou

nt,

K€

2014

BUDGET TGIR 2014 : 3 717 K€

Coût des INFRASTRUCTURES en 2014 (sans projet scientifiue)

6,3 M€ /an<= > 906€/m²

Coût d’exploitation (projets scientifiques)

2 M€/an

Coût de personnel (~ 140 IR & Techniciens)

8,4 M€/an

INVESTISSEMENT

10% du parc à renouveler chaque année soit 12 M€/an

Budget et couts24/03/2014

CNRS & Universtités= 59% (coûts fixes )

• 3,282 M€ CNRS• 0,435 M€ Universités

Utilisateurs RENATECH= 41%• 2,3 M€

Valeur des équipements : 126 M€

Domaines des recherche

Nanoelectronics / Spintronics Photonics MEMS / NEMS /

MOEMS / AcousticsMicro-Nano for Biology

Characterisation / Instrumentation

CMOS scaling

Beyond CMOS

High performance micro-light sources

Integration of SAW & BAW components on silicon

Free labelling and high sensitivity detection

Characterization of integrated nanomaterials

Low power reliable electronics

On-chip photonic systems

Ultra-integrated RF acoustic devices using phononics crystals

Full integration of biological or chemical analysis protocol in a micro-system

Real time, in-situ analysis

Logic & analog circuits

Devices for mechanical-electrical energy generation & conversion

Multiscale approaches for nano materials, nano devices and micro/nano systemsNanomagnetism

Multifunction integrated sensors

24/03/2014

Equipements principaux

Lithography Deposition Material/Growth EtchingCharacterization / Metrology

Integration

Photolitography (UV & deep-UV)

Evaporation MBEChemical etching

Optical microscopy

Packaging

Electron-beam lithography

Sputtering CVDReactive Ion etching

Scanning probe microscopy

Wire bonding

Laser CVDChemical synthesis

Laser SEM & TEM Dicing

ImprintElectro-deposition

ALD FIB ProfilometryWafer bonding

Inkjet, roll-to-roll

Ion implantationElectrical, HF & optical characterizations

Flip chip

Thermal/Chemical processing

Diffraction

24/03/2014

2004 2005 2006 2007 2008 2009 2010 2011 2012

12% 13% 15% 17% 21% 24%31% 34% 40%

5% 5%

10%12,5%

13% 10%

11%

Renatech opening rate for academic (blue) and industrial (green) external projects

2004 2006 2007 2008 2009 2010 2011 2012

122

246 242289

365

407427

444

Number of exogenous pro-jects

2007 2008 2009 2010 2011 2012

67% 63%

71%

59%56%

61%

33%37%

29%

41% 44%39%

Technological development

With

Without

Chiffes clés sur les projets exogènes24/03/2014

Chiffres clés

Nos partenaires

1.6M€grand projet

8 ans

200€petit projet

1/2 journée

Domaines d’activité

Biotechnology (3%)

Chemistry (4%)

Earth Science & Astronomy (4%)

Physics (19%)

Engineering Science (40%)

Other (25%)

Quelques réalisationHigh performance infrared detectors

for astronomy

Optical nano-antenna made by etching for the company Lovalite

Autonomous pressure and temperature sensor made with

the company Schrader

High fidelity micro speaker made with ST-Microelectronics

Greater data conservation with saphir micro-eching for the company ARNANO

24/03/2014

10 moisDurée

moyenne

Contents24/03/2014

Le programme RTB• Histoire et missions• ‘’Nano’’ ecosystème

RENATECH• Localisations• Organisation• Budget et coûts• Domaines de recherche et équipements• Projets exogènes et chiffres clés

L’offre de RENATECH• Services• Approche spécifique• Utilisateurs

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Les services

Accès à la fabrication technologique Service de réalisation

de micro et nanocomposants et systèmes

Support pour la R&DConseils

technologiquesSolutions techniquesAccès encadré à des

équipements de pointe

© U

sine

No

uve

lle D

avid

C

resb

ron

Formation Les clients sont formés

pour êtres des utilisateurs autonomes

Recherche de financement

Vision de l’état de l’art

Identification de partenaires

…

Services sur mesure

24/03/2014

Process24/03/2014

Résultats positifs

Enquête de satisfaction

98%des

objectifs sont

atteints

89%des devis

sont respectés

89%du planning

est respecté

>35 brevets par

an

82%des

utilisateurs sont

satisfaits de la réactivité

>500publications

par an

Start-up (10%)

PME (14%)

Grandes entreprises (76%)

Utilisateurs = académiques et industriels

450 utilisateurs en 2012

Industriels (16%)

Académiques (84%)

24/03/2014

Contents24/03/2014

Le programme RTB• Histoire et missions• ‘’Nano’’ ecosystème

RENATECH• Localisations• Organisation• Budget et coûts• Domaines de recherche et équipements• Projets exogènes et chiffres clés

L’offre de RENATECH• Services• Approche spécifique• Utilisateurs

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Un seul point d’accès

http://www.renatech.org

Facturation après la réalisation Rapport (1 page, publications,

brevets...), & enquête de satisfaction

Courte description des besoins

Etude de faisabilité gratuite

Planning de travail et devis = Cout d’accès horaire x le facteur de ressource

24/03/2014

Un accès en quelques clics 24/03/2014

Points de contacts des plateformes

General information

24/03/2014

Contents24/03/2014

Le programme RTB• Histoire et missions• ‘’Nano’’ ecosystème

RENATECH• Localisations• Organisation• Budget et coûts• Domaines de recherche et équipements• Projets exogènes et chiffres clés

L’offre de RENATECH• Services• Approche spécifique• Utilisateurs

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Action 2013-201424/03/2014

Un seul point d’entrée-> Création du portail sur lequel les utilisateurs s’inscrivent

http://www.renatech.org

Promotion du réseau auprès des PME ->Collaboration avec la CCI de l’Essonne et le réseau EEN -> Réalisation d’une brochure à destination des industriels

Collaboration avec Sample of science

Harmonisation le calcul du cout d’accès aux plateformes

Campagne de sensibilisation

« Please mention in the acknowledgment section: »

‘’This work was partly supported by the French RENATECH network’’

Et néanmoins un vrais progrès (WEB OF SCIENCE)

Citations indexées Publications indexées

24/03/2014Plus de 500 publications par an

... Mais seulement 74 sont indexées.

Thank you for your attention

Caroline BOISARDResponsable de projet

01 44 96 46 50caroline.boisard@cnrs-dir.fr

http://www.renatech.org24/03/2014