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2
Caméras microscopes – DS-Ri2Têtes de caméra numériques – DS-Vi1 / DS-Fi2
Unités de commande indépendantes – DS-L3Unités de commande à contrôle sur PC – DS-U3
4-5
6
7
8
9
INDEX
Stéréomicroscopes 3
Microscopes industrielsMicroscopes droits – LV150N / LV150NA / LV100ND / LV100DA-U / L300N / L300ND / L200N / L200NDMicroscopes métallurgiques inversés – MA200 / MA100 / MA100LMicroscopes polarisants – LV100NPOL / Ci POLMicroscopes Zoom multi tâches – AZ100 / AZ100M
Caméras numériques pour microscopes
Microscopes numériques / Profileurs surface 3D sans contact grande résolutionMicroscopes numériques – ShuttlePix P-400Rv Profileurs de surface 3D – BW-D500 Series / BW-S500 Series
ObjectifsObjectifs – CFI60-2 / CFI60 / CF&IC Objectifs proches infrarouge – NIR / NIR-C
Pour incorporation dans microscopes / Chargeurs de WafersUnités de mise au point modulaires – IM-4 / LV-IM / LV-FM / LV-FMAUnité dynamique Auto-Focus – LV-DAF
Microscopes compacts réfléchis – CM SeriesChargeurs de Wafers – NWL200 Series
10-11Systèmes de mesure par vidéo à CNSystèmes de mesure par vidéo à CN – NEXIV VMA / VMR / VMZ-R / VMZ-H SeriesSystèmes de mesure confocaux par vidéo à CN – NEXIV VMZ-K Series
12Microscopes de mesureMicroscopes de mesure – MM-200 / MM-400 / MM-800
13Projecteurs de profil / Système de traitement des donnéesProjecteurs de profil – V-12B / V-20B / V-24BLogiciel de traitement des données – E-MAX
Processeur de données – DP-E1Logiciel de métrologie – U-DP
14Autocollimateurs / DIGIMICROAutocollimateurs – 6B-LED / 6D-LED DIGIMICRO – MF-1001 / MF-501 / MH-15M
15Optique plane / Optique parallèle/ Echelle standard 300mm
Optiques parallèles – SMZ25 / SMZ18 / SMZ1270 / SMZ1270i / SMZ800NOptiques Greenough – SMZ745 / SMZ745T / SMZ660 / SMZ445 / SMZ460 / SMZ-2 / SM-5
3
Stéréomicroscopes
Optiques parallèles
SMZ445SMZ460
SMZ745SMZ745T SMZ660 SM-5SMZ-2
4.3 : 1
3.5–60×(7–30×)
4.4 : 1
0.8 –3.5×
4–70×(8–35×)
0.7 –3×
6.3 : 1
0.8–5×
4–300×(8–50×)
(SMZ745T only)
7.5 : 1
0.67–5×
3.35–300×(6.7–50×)
5 : 1
0.8–4×
4–120×(8–40×)
100mm115mm115mm 77.5mm 100mm
10–60×(20×)
SMZ25
60mm
25 : 1
0.63–15.75×
3.15–945×(6.3–157.5×)
SMZ18
60mm
18 : 1
0.75–13.5×
3.75–810×(7.5–135×)
SMZ1270SMZ1270i
70mm
12.7 : 1
0.63–8×
3.15–480×(6.3–80×)
SMZ800N
78mm
8 : 1
1–8×
5–480×(10–80×)
SMZ Series
Optiques Greenough
La gamme SMZ propose des appareils avec une performance optique remarquable, un système extensible flexible et une excellente opérabilité.
*1: Selon la combinaison Oculaire/Objectif. *2: Combinaison Oculaire 10× et Objectif10×. *3: Objectif 1× ou sans Objectif auxiliaire.
Rapport de zoom
Plage de zoom
Grossissement total*1Combinaison standard*2)
D.T.*3
Caméra
: Disponible / : Non disponible
Rapport de zoom
Plage de zoom
Grossissement total*1Combinaison standard*2)
D.T.*3
Caméra
Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.
: Disponible / : Non disponible
4
LV100NDLV100DA-UChaque modèle propose différentes méthodes d'observation avec un éclairage Réflexion/Transmission.
LV150NLV150NALV150NL*Sélection du support et des unités d'éclairage en fonction des méthodes d'observation et de l'utilisation.
L300NL300NDDisponible avec une platine d'une course de 350x300mm. Pour l'observation de wafer de Ø300mm
*L200ND uniquement
Les microscopes industriels de Nikon utilisent les systèmes optiques CFI60-2, très appréciés pour leur combinaison unique d'une grande ouverture numérique (NA) et d'une grande distance de travail (D.T.)
Ph-C
• Platine 3×2 (course 75×50mm)• Platine 6×6 (course 150×150mm)
POLDFBF DIC 2-BeamFLEPI
**
• Episcopique • Episcopique / Diascopique
Microscopes droits (modèles à grandes platines)
Microscopes droits (modèles généraux)
LV150N LV100ND
Méthode d'observation
Eclairage
Platine
Microscopes industriels
*Voir la brochure "LV-N Series" pour les autres plateaux compatibles.
• Platine 3×2 (course 75×50mm)• Platine 6×4 (course 150×100mm)*Voir la brochure "LV-N Series" pour les autres plateaux compatibles.
EPIDIA
BF DF DIC POL FL
*L300ND uniquement
• Platine 14×12 (course 350×300mm)
• L300N : Episcopique• L300ND : Episcopique / Diascopique
• Platine 8×8 (course 200×200mm)
• L200N : Episcopique• L200ND : Episcopique / Diascopique
EPIDIA
BF DF DIC FLS-POL BF DF DIC FLS-POLEPIDIA
Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.
2-Beam
BF: Fond clair DF: Fond noir DIC: Contraste par Interférence Différentielle FL: Fluorescence POL: Polarisation 2-beam: Interférométrie à 2 faisceaux Ph-C: Phase-Contraste *Seuls les BF, DIC, et S-POL sont disponibles pour le LV150NL
BF: Fond clair DF: Fond noir DIC: Contraste par Interférence Différentielle S-POL: Polarisation simple FL: Fluorescence
Méthode d'observation
Eclairage
Platine
*
L300ND
L200NL200NDDisponible avec une platine d'une course de 200x200mm. Pour l'observation de wafer de Ø200mm
L200ND
: Disponible / : Non disponible: Disponible / : Non disponible
: Disponible / : Non disponible: Disponible / : Non disponible
5
ECLIPSE SeriesLes microscopes industriels de Nikon utilisent les systèmes optiques CFI60-2, très appréciés pour leur combinaison unique d'une grande ouverture numérique (NA) et d'une grande distance de travail (D.T.)
Microscopes Inversés Métallurgiques
Avec son boitier robuste, le MA200 est plus stable, plus durable et a un plus faible encombrement au sol que les modèles conventionnels.
MA200
Les MA100 et MA100L sont des microscopes inversés compacts, conçus pour les observations à fond clair et à polarisation simple.
MA100MA100L
LV100NPOLCi POL
Les Multizoom AZ100 et AZ100M combinent les avantages des microscopes stéréoscopiques et métallographiques.
AZ100AZ100M
• LV100NPOL : Platine rotative de grande précision pour observation polarisantes• Ci POL : Platine rotative avec serrage du plateau
Microscopes polarisants de grande qualité, avec une superbe performance optique, s'adaptant à de nombreux types d'observations.
Microscopes polarisants Microscopes Zoom multi-tâches
• Episcopique/ Diascopique
AZ100LV100NPOL
MA100L
• Episcopique / Diascopique • Episcopique
• Episcopique/ Diascopique
EPIDIA
BF DF DIC FLS-POL
• Platine mécanique MA2-SR (course 50×50mm) • Platine rectangulaire MA-SR 3 plaques (course50×50mm)• Platine plan MA-SP • Platine mécanique amovible Ti-SM CH (course 126×80mm)
BF DF DIC FLS-POLEPIDIA
EPIDIA
BF POL
• Platine 6×6 (course 150×150mm) pour épiscopique• Platine 6×4 (course 150×100mm) pour diascopique
BF: Fond clair DF: Fond noir DIC: Contraste par Interférence Différentielle S-POL: Polarisation simple FL: Fluorescence
BF: Fond clair DF: Fond noir DIC: Contraste par Interférence Différentielle S-POL: Polarisation simple FL: Fluorescence
Méthode d'observation
Eclairage
Platine
EPIBF DF DIC FLS-POL
Méthode d'observation
Eclairage
Platine
: Disponible / : Non disponible
: Disponible / : Non disponible
: Disponible / : Non disponible : Disponible / : Non disponible
6
Taux d'acquisition
Résolution 2560×1920
27ips (800×600 / )
DS-U3
Les icônes permettent de régler facilement les paramètres optimaux d'imagerie pour chaque type d'échantillon et de méthode d'observation.
De nombreux outils
Wafers/CI
Métal, Céramique/Plastique
Circuit imprimé
Ecran plat
Assemble des images acquises avec différents champs de vision, pour créer une seule image.
Assemblage d'images
Crée une image toutes-focales à partir d'images à différentes focales.
EDF (Profondeur de Champ Etendue)
System Type (Têtes de caméra)
System Type (Unités de commande)
*Pour les autres caméras, voir le catalogue "Digital Sight series" .
DS-L3Equipée avec un grand écran tactile et riche en fonctionnalités, la DS-L3 est facile à utiliser et permet d'acquérir rapidement des images sans passer par un PC ou un moniteur.
Mode scène Logiciel de traitement d'image"NIS-Elements"
1600×1200
21ips (1280×960 / )
Mesure (distance entre 2 points)
De nombreuses fonctions d'édition sont disponibles et peuvent être enregistrées sur les images. Il est facile d'extraire les données des mesures, si besoin.
Unité contrôlée par PC
Caméras numériques pour microscopes Digital Sight Series
Unité indépendante
Fonctions de mesure
DessinComparaison de la position et de la taille
Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.
DS-Vi1
Tête de caméra couleurs grande vitesse
DS-Fi2
Tête de caméra couleurs haute définition
Caméra microscope
DS-Ri2Modèle Stand-Alone
45ips (1636×1088)
4908×3264
Couleurs Hauterésolution
5.0megapixels
Couleurs2.0megapixels
Couleur Hauterésolution
16.25megapixels
Capable de restituer des images brutes, cette caméra numérique pour microscope propose une grande résolution, une bonne reproduction des couleurs et un excellent taux d'acquisition.
Le nouveau modèle indépendant Stand-Alone peut acquérir des images à haute définition sans unité de commande, tandis que le System Type permet d'assembler librement des têtes de caméras et des contrôleurs.
De l'affichage et de l'acquisition des images à l'analyse et au traitement avancés des images, la DS-U3 permet de commander toutes les fonctions à partir d'un PC et peut être utilisée pour de très nombreuses applications.
7
Support motorisé de mise au point + Ecran tactile
Kit portatif Support unique
Cet ensemble tout-en-un propose une tête de caméra zoom sur pile et un support compact à simple réflexion. Chacun d'entre eux peut être emmené n'importe où pour capturer des images à haute résolution.
Tous les utilisateurs pourront manipuler facilement cette tête de caméra à la fois légère et ergonomique.
Grâce au fonctionnement intuitif des icônes tactiles, ou grâce au stylet, il est maintenant possible de capturer des images avec précision et de faire des mesures simples.
La technologie de mesure par interférométrie optique de type scanning, brevetée par Nikon, permet d'atteindre une résolution en hauteur de 1pm. Les applications proposées par Nikon sont nombreuses : surfaces lustrées comme les wafers de silicone et surfaces en verre ou métalliques.
1pm
< 4458×4448µm** La plage peut être étendue en changeant la lentille relais ou par assemblage.
510×510
4 s (scan 10µm)
< 2015×2015µm*
2,046×2,046
38 s (scan 10µm)
1,022×1,022
16 s (scan 10µm)
Lent i l l e Ve r reSur face polie en céramique Sur face gravée en métal Pap ie r sa t iné
Modèle grande vitesse²BW-D500 Series
Modèle haute résolution en pixelsBW-S500 Series
Images EDF en un seul contact
Microscope Numérique ShuttlePix P-400RvCe microscope numérique, unique en son genre, peut être soit portatif pour s'adapter aux dimensions d'un échantillon ou peut se fixer sur une base pour prendre des images à fort grossissement et réaliser différentes mesures.
Profileurs de surface 3D sans contact, à très grande résolution verticale
BW-D500 Series/BW-S500 Series
Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.
Il est facile d'acquérir des images en sélectionnant les positions initiale et finale sur un échantillon.
Résolution en hauteur (algorithme) Répétabilité
RésolutionDurée de la mesure dehauteurChamp de Vision
σ: 8nm (8µm mesure de la hauteur d'échelon)
BW-S507
8
CFI60-2 / CFI60 / CF&ICLes systèmes optiques CFI60-2/CFI60/CF&IC de Nikon sont très appréciés pour leur concept unique, à savoir la combinaison d'une grande ouverture numérique (NA) et d'une grande distance de travail (D.T.) Ces objectifs ont évolué pour offrir ce qui se fait de mieux en termes de distance de travail, de correction des aberrations chromatiques et de masse optimisée.
Les objectifs atteignent une grande transmission supérieure ou égale à 90%, dans une plage visible de 1064 nm. Précision d'usinage nettement améliorée pour les petites tailles à faible puissance. Conviennent pour les semi-conducteurs et les LCD par réparation laser.
*A: Position prisme sur A / B: Pösition prisme sur B
Objectifs proches infrarouge NIR / NIR-C
Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.
*1: Nous contacter pour la transmission en dehors de la plage de vision et 1064nm. *2: La D.T. est mesurée à partir de la surface de l'objet avec une épaisseur de verre couvrante de 1.1mm.*3: A cause d'un changement de position parfocale, en cas d'utilisation avec un objectif à moindre couverture, la distance parfocale est corrigée par des bagues et des rondelles correctrices.
: Disponible / : Non disponible
Objectifs
BF: Fond clair DF: fond noir POL: Polarisation S-POL: Polarisation simple DIC: Contraste à Interférence Différentielle UV-FL: UV Fluorescence FL: EPI Fluorescence
NIR, Plan proche infrarougeNIR-C,Plan proche infrarouge (plage de correction d'épaisseur du verre 0.3–1.1mm)
Modèle Grossissement NA D.T. (mm)
20× 0.40 25.0 50× 0.42 20.0 20× 0.40 24.0 50× 0.42 19.0
Longueur d'onde (n.m) Distance parfocale (mm)
1,064/5321,064/5321,064/5321,064/532
95959595
*3
*3
*2
*2
*1
*1
1× 0.03 3.8 2.5× 0.075 6.5 5× 0.15 23.5 10× 0.3 17.5 20× 0.45 4.5 50× 0.8 1.0 100× 0.9 1.0 50× 0.8 2.0 100× 0.9 2.0 150× 0.9 1.5 5× 0.15 23.5 10× 0.3 17.5 20× 0.45 4.5 50× 0.8 1.0 100× 0.9 1.0 20× 0.4 19.0 50× 0.6 11.0 100× 0.8 4.5 10× 0.2 37.0 20× 0.3 30.0 50× 0.4 22.0 100× 0.6 10.0 5× 0.15 18.0 10× 0.3 15.0 20× 0.45 4.5 50× 0.8 1.0 100× 0.9 1.0 50× 0.8 2.0 100× 0.9 2.0 150× 0.9 1.5 20× 0.4 19.0 50× 0.6 11.0 100× 0.8 4.5 40× 0.65 1.0 150× 0.95 0.3 100× 0.9 0.51 150× 0.9 0.42 20× 0.45 10.9–10.0 50× 0.7 3.9–3.0 100× 0.85 1.2–0.85 100× 0.85 1.3–0.95 2.5× 0.075 8.8 5× 0.13 22.5 10× 0.3 16.5 20× 0.46 3.1 50× 0.8 0.54 100× 0.95 0.3 50× 0.95 0.4 100× 0.95 0.3 150× 0.95 0.2 20× 0.4 11 50× 0.55 8.7 100× 0.8 2 10× 0.21 20.3 20× 0.35 20.5 50× 0.45 13.8 100× 0.73 4.7 2.5× 0.075 10.3 5× 0.13 9.3 10× 0.3 7.4 20× 0.4 4.7 50× 0.55 3.4 100× 0.7 2.0
T Plan EPI Plan (Semi-apochromatique)TU Plan Fluor EPIFluor Plan Universel (Semi-apochromatique)
TU Plan Apo EPI Apo Plan Universel (Apochromatque)
TU Plan Fluor EPI P Fluor Plan Universel Polarisant (Semi-apochromatique)
TU Plan EPI ELWD Plan Super grande distance de travail (Semi-apochromatique)
T Plan EPI SLWD Plan Super grande distance de travail(Semi-apochromatique)
TU Plan Fluor BD Fluor Plan Universel (Semi-apochromatique)
TU Plan Apo BDApo Plan Universel (Apochromatique)
TU Plan BD ELWD Plan Universel Grande distance de travail(Semi-apochromatique)
L Plan EPI CRPlan Inspection des substrats LCD (Achromatique)
CF IC EPI Plan TI DIC Plan CF IC EPI Plan DIDIC Plan
CF IC EPI PlanPlan (achromatique)
L Plan EPI (Achromatique)LU Plan Apo EPI / Apo Plan Universel (Apochromatique)LU Plan Apo BDApo Plan Universel (Apochromatique)
*Offres valables jusqu'à épuisement du stock
CF IC EPI Plan ApoPlan Apo (Apochromatique)
CF IC EPI Plan ELWDPlan Grande distance de travail (Achromatique)
CF IC EPI Plan SLWDPlan Super grande distance de travail (Achromatique)
GrossissementModèle NA D.T. (mm) BF DF POL S-POL DIC UV-FL FL
AAAAAAAAAAAAABBB
AAAAAAAABBB
AAA
9
Pour intégration dans les microscopes
Chargeurs de wafersLa technologie brevetée de Nikon permet d'assurer un chargement fiable des wafers ultra fins de 100μm. Les chargeurs NWL 200 series permettent des chargements fiables et conviennent à l'inspection des semi-conducteurs nouvelle-génération.
ø200mm / ø150mm / ø125mm300um
300–100µm
DiamètresWafers Epaisseur (standard) Epaisseur (en option)Inspection macro des surfaces et des faces arrière
LV-DAFUnité Auto-Focus dynamique
L'Auto-focus hybride offre une large plage de mise au point et une capacité de repérage rapide. Large palette de méthodes d'observation, comprenant : fond clair, fond noir et DIC. Il est possible d'observer des échantillons réfléchissants et transparents.
IM-4, LV-IM/LV-IMA, LV-FM/LV-FMAUnités de mise au point modulaires
Prêtes à être incorporées dans des systèmes, ces unités de mise au point permettent de monter un éclairage universel et un porte-objectif motorisé.
CM SeriesMicroscopes compacts réfléchis
Microscopes ultra-compacts réfléchis conçus pour être intégrés dans les lignes de production et l'observation sur des moniteurs.
Monture caméraGrossissement bague allonge
Objectifs compatiblesSystème optique d'éclairageSurfaces de montage
CM-5A
1×
3
CM-10A/CM-10L CM-20A/CM-20L
Gamme A : Objectifs CF IC EPI Plan / Gamme L : Objectifs CFI60-2/ CFI60 EPI Plan0.5×
CM-30A/CM-30L
1×
4Eclairage Koehler(éclairage télécentrique de grande qualité)
Monture C (Monture ENG possible en option)
Manuel30mm
Type Course verticale
IM-4 LV-IM/LV-IMA LV-FM/LV-FMA
Système de projection découpé/ Système de détection par contraste LED Proche infrarouge (λ=770nm)
Inf. à 0.7 sec (Objectif: 20×, Distance à partir de la position focale: 200μm) Fond clair, Fond noir, Polarisant DIC
Système de détectionSource de lumière AFTemps focalObservation
Manuel / Motorisé30/20mm
LV-FMA
LV-IMA
NWL200 Series
Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.
Manuel / Motorisé30/20mm
10
Champ de Vision L(mm)× P(mm)
Type ATête standard Type 1 Type 2 Type 3 Type 4 Type TZ
Corps principal (Type / Course du plateau)
VMR / VMZ-RVMR: VMR-1515/VMR-3020/VMR-6555/VMR-10080/VMR-12072VMZ-R: VMZ-R3020/VMZ-R4540/VMZ-R6555
VMR-HVMR-H3030
VMAVMA-4540 SeriesVMA-2520 Series
Type standard Type Grande précision Type Large Champ de Vision
Têtes de zoom
Type Course XY (mm)
Tête large Champ de VisionTête standardTête fort grossissementCourse Axe Z (mm)
Poids maximum des pièces (kg)
Erreur maxi autorisée (μm) EUX, MPE:Erreur maxi autorisée surZ (μm) EUZ, MPE:*1
Large Champ de Vision Standard300×200 450×400 650×550 1000×800 1200×720
Grande précision
300×300
73.5mm
9.8mm
50mm
Type 1–4
Equipé de couronnes lumineuses réglables en hauteur, en bas et obliques. Le Laser AF TTL (Through The Lens) est un outil standard capable de scanner des surfaces à 1000 points/seconde.
Type TZ
Equipé d'un super grand rapport de zoom 1-120x à 8 étages. Convient pour la mesure de petites cibles, jusqu'à quelques micromètres.
Type A
Travail aisé grâce au large champ de vision et à la grande distance de travail. Possibilité de fixer les accessoires Laser AF et palpeur à contact.* Le palpeur à contact est en option uniquement sur les VMA.
450×400
Modèles
iNEXIV VMA-4540 NEXIV VMR-H3030NEXIV VMZ-R4540NEXIV VMZ-R3020
13.310.0
9.337.01
7.85.8
4.73.5
2.61.9
2.331.75
1.331.00
1.1650.875
0.6220.467
0.5820.437
0.3110.233
0.2910.218
0.1550.117
0.1460.109
0.0700.068
0.0730.055
0.0390.029
30mm
Systèmes de mesure par vidéo à CNUne large palette de courses de platine et de grossissements est disponible, pour satisfaire les exigences des clients.
NEXIV Series
Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.
20015
2+8L/10003+L/50
15020
1.5+4L/10001.5+L/150
15030
0.6+2L/10000.9+L/150
15040
2.2+4L/10001.5+L/150
15040
2+4L/10001.5+L/150
20050
1.2+4L/10001.2+5L/1000
20040
1.2+4L/10001.2+5L/1000
20020
1.2+4L/10001.2+5L/1000
Tête fort grossissement
Tête large Champ de Vision
W.D.
150×150250×200
20020
2+6L/10003+L/100
L = Longueur en mm *1: avec Laser AF ou palpeur à contact
Modèles Modèle
11
VMZ-K6555
Contour Vue en 3DFond clair
Le NEXIV confocal comprend des optiques confocales pour réaliser des évaluations rapides et précises de géométries fines tri-dimensionnelles. Les optiques confocales sont conçues pour les hauteurs des grands champs de vision.
D.T.24mm
20mm
24mm
5mm
5mm
86
43
2.01.5
1.61.2
1.000.75
0.80.6
0.630.47
0.530.40
0.40.3
0.300.23
0.270.20
0.200.15
0.110.08
0.1000.074
0.050.04
1.260.95
Optiques fond clairOptiques confocales Les images à fond clair et 3D sont disponibles
300×4001.5× / 3× / 7.5×
15× / 30×15020
1.5+2.5L / 10001+L / 1000
Course XY (mm)
Grossissement (Type S)
Grossissement (Type H)
Course Axe Z (mm)
Poids maximum des pièces (kg)
Erreur maxi autoriséeU1X, U1Y (μm)
Erreur maxi autorisée sur Z (μm)
VMZ-K3040
650×5501.5× / 3× / 7.5×
15× / 30×15030
1.5+2.5L / 10001+L / 1000
Echantillon très contrasté et à plusieur niveaux (PCB) Echantillon fin et transparent (Film à surface métallique/ Résist. semi-conducteur
Difficile de détecter les films à couches minces
Corps principal (Type/Course plateau)
Têtes de zoom
L'observation sur fond clair est parfois difficile à cause des lignes floues le long de la structure de l'échantillon. Avec des optiques confocales, on peut facilement observer et mesurer ces lignes. Image SEM
Image confocale
Avec des optiques confocales, il est facile de détecter les surfaces supérieures du film transparent mince et de la surface métallique.
Image à fond clair
Les couches supérieures et inférieures sont détectéesavec précision
Détection du haut Détection du bas
NEXIV Confocal Mesure simultanée de la hauteur sur de grandes zones avec des optiques confocales et mesure en 2D avec un zoom fond clair 15×.
Champ de L(mm)×Vision P(mm)
Type S 1.5× 3× 7.5×Type H 15× 30×
Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.
Images à fond clair
Image confocale
FilmMetal Surface
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*Uniquement pour les têtes vidéo simples
Type universel
MM-400MM-200
Cette gamme est compatible avec la mesure dimensionnelle et différentes méthodes d'observation.
Modèle compact Modèle de base
Type MM
L'objectif Split-Prism FA, développé récemment, produit des motifs très pointus permettant de faire des mises au point précises pour les mesures sur Z. Les motifs FA sont clairement visibles car ils sont découpés dans le sens vertical
Mise au point en avant Bonne mise au point Mise au point en arrière
Lentille
Aide à la mise au point (FA)
Le levier de sélection Rapide/Fin et les boutons RESET et ENVOI sont situés près des boutons des axes X et Y.
Nouvelle platine grande précision
Boutons axe X Boutons axe Y
On peut atteindre une grande précision de mesure avec la technologie optique de Nikon et les nouvelles platines récemment développées.
MM-800Modèle grande platine
110mm
*1×/3×/5×/10×
150mm 200mm
1×/3×/5×/10×/20×/50×/100×
Microscopes de mesureConçus pour être à la fois précis et facile d'utilisation, de nombreux produits sont disponibles dans la gamme MM.
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Hauteur maxi de la pièce
Grossissement objet
Tête optique
X-Y-Z
Dispositif à transfert de charge CCD
Dimensions de platine/ Capacité de chargement
50×50mm / 5kg100×100mm / 15kg150×100mm / 15kg200×150mm / 20kg250×150mm / 20kg300×200mm / 20kg
MonoculaireBinoculaire2-axes3-axes
: Disponible / : Non disponible
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Systèmes de traitement des données pour les microscopes de mesure et les projecteurs de profil
*1: Champ de Vision réel = Diamètre effectif de l'écran / Grossissement lentille*2: La hauteur maxi de l'échantillon est de 70mm avec un plateau de 200×150mm.
V-20BV-12B
Logiciel de traitement des données
Apporte à l'utilisateur différentes mesures avancées et des fonctions de traitement. La détection automatique des bords avec un traitement inférieur au pixel permet de réaliser des mesures plus répétitives et plus précises.
Processeur de données Logiciel de métrologie
U-DP
Il est très facile de brancher le logiciel de dimensionnement géométrique à navigation sur l'Ethernet ou un réseau Wifi. La navigation interactive autorise un fonctionnement immédiat, tandis que la configuration de l'écran donne facilement la confirmation des résultats de mesure.
[Environnement de travail]OS: Windows®XP, Windows®7Mémoire nécessaire : 2GB (mini.)Navigateurs recommandés: Windows® Internet Explorer Ver6.0.2.9 ou plus récents
Connexion sur projecteur de profil, Il faut un compteur de retrofit et des unités DP.
Modèle écran largeModèle de bureau
V-24B
E-MAX
Utilisé avec un microscope de mesure/un projecteur de profil, il calcule et traite rapidement les données de mesure. Le fonctionnement orienté-entité du DP-E1 permet à l'utilisateur de réaliser ses mesures avec des dessins, en fournissant un environnement de mesure optimal.
DP-E1
Modèle écran large
Connexion sur projecteur de profil,Fonctions du traitement des données uniquement
250mm600mmInversée
5×/10×/20×/50×/100×60mm
(Externe)
100mm*2
305mmRedressée
5×/10×/20×/25×/50×/100×/200×30.5mm
150mm500mmInversée
5×/10×/20×/50×/100×50mm
Projecteurs de profilLes projecteurs de profil Nikon appliquent les principes optiques à l'inspection des pièces manufacturées en projetant des silhouettes agrandies sur un écran.
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Dimensions de la platine/ Capacité de chargement
Hauteur maxi de la pièce Ecran Image Lentille de projectionRapporteur numériqueCompteur numérique
50×50mm / 5kg100×100mm / 15kg150×100mm / 15kg200×150mm / 20kg250×150mm / 20kg225×100mm / 30kg
GrossissementCdV (avec lentille10×)*1
: Disponible / : Non disponible
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Grâce à des systèmes de mesure de la longueur, numériques et photoélectriques, le DIGIMICRO permet de mesurer, sans défaut, les dimensions, l'épaisseur et la profondeur.
0–100mm3μm
Vers le bas de 1.225 à 1.813N (variable autour de 0.441N), latérale de 0.637 à1.225N
Unité principalePlage de mesurePrécision (à 20°C)Force de mesure
Température de fonctionnement
MF-10010–15mm
0.7μmVers le haut 0.245N, vers le bas 0.637N, latérale 0.441*Avec relâchement à la remontée
MF-501 MH-15M0–50mm
1μmVers le bas de 1.127 à1.617N (variable autour de 0.294N), latérale de 0.637 à 1.225N
de 0 à 40˚C
Méthode d'observationSystème d'affichagePlage de mesurePlage minimale
6B-LED: Fond clair, 6D-LED: Fond noirRéglage dans le champ de vision et lecture sur micromètre
30 minutes d'arc (sur l'axe vertical et sur l'axe horizontal en même temps)0.5 seconde d'arc
6B-LEDType à fond clair
Utilise les optiques de marque Nikon pour éclairer les détails de la surface.
30
200 10 20 30
1div=1min
0
10
0 10 20 30
30
20
1div=1min
0
10
30
200 10 20 30
1div=1min
0
10
0 10 20 30
30
20
1div=1min
0
10
Unité principale MF-1001 + Compteur MFC-101 + Support MS-21
DIGIMICRO
AutocollimateursLes autocollimateurs sont des appareils de métrologie faciles à utiliser et précis pour mesurer les angles, le parallélisme, la perpendicularité, la rectitude des composants précis, des glissières de machines, mais aussi pour d'autres applications.
Le meilleur choix pour mesurer les petits miroirs plans.
Unité principale MF-501 + Compteur MFC-101 + Support MS-11C
6D-LEDType à fond noir
Les deux côtés sont parfaitement parallèles, ce qui permet de l'utiliser comme surface non réfléchissante. Egalement utile pour mesurer des angles très petits, là où il faut un miroir plus petit.*Le boitier en bois est fourni.
30mm12mm
2 secondes d'arc
Diamètre extérieurEpaisseurParallélisme
Miroir plan C
Unité d'éclairage LED pour installation sur l'unité d'éclairage de l'autocollimateur 6B/6D.
Eclairage à LED AC-L1
2x piles AA , adaptateur CASource de courant
Optique plane / Optique parallèle / Echelle standard 300mm
15
On utilise une optique plane pour vérifier le niveau de planéité d'une surface avec finition miroir. On peut mesurer le niveau de planéité en observant les franges d'interférométrie, en plaçant l'optique plane en contact avec la pièce.
Optique plane
15mm0.1μm
DiamètreEpaisseurPlanéité
Verre (ø60mm)27mm0.1μm
Les deux plans de l'optique parallèle sont finis avec précision, au niveau de la planéité et du parallélisme. On utilse cette optique pour mesurer les niveaux de planéité et de parallélisme d'une pièce en observant les franges d'interférométrie, en plaçant l'optique parallèle en contact avec la pièce.
30mm12mm / 12.12mm / 12.25mm / 12.37mm
inférieure à 0.1μminférieur à 0.2μm
DiamètreEpaisseurPlanéitéParallélisme
ab
Optique parallèle
Echelle standard 300mm
Echelles de précision de déplacement des platines jusqu'à 300mm. Les motifs de capteur, avec intervalles de 10 mm, ainsi que les calibrations, sont fournis. Fabriquées en verre à faible dilatation thermique. *Moins de 1µm en comparaison avec les valeurs de compensation.
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Verre (ø130mm)
*Des optiques planes et parallèles plus précises sont disponibles, selon la
commande du client.
Le fabricant se réserve le droit de modifier les caractéristiques de ses appareils, sans préavis et sans obligation de sa part. Juin 2014 ©2014 NIKON CORPORATIONN.B. L'exportation des produits* présentés dans ce catalogue est soumise à la législation japonaise sur les relations extérieures et à la législation sur le commerce extérieur. Une procédure d'exportation conforme sera exigée en cas d'importation en provenance du Japon.*Produits: Le matériel et ses informations techniques (logiciels compris).• Monitor images are simulated. Company names and product names in this brochure are their registered trademarks or trademarks.
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